Les systèmes auxiliaires utilisés dans le procédé comprennent l'alimentation de l'aimant, l'alimentation haute tension de la source d'ions, l'installation de vide et d'importants systèmes de manipulation chimique pour la récupération du produit et l'épuration ou le recyclage des composants.
这个过助系统包括磁体供电系统、离子源高压供电系统、真空系统以及产品回收及部件
清洁/再循环
多种化学处理系统。