Les systèmes auxiliaires utilisés dans le procédé comprennent l'alimentation de l'aimant, l'alimentation haute tension de la source d'ions, l'installation de vide et d'importants systèmes de manipulation chimique pour la récupération du produit et l'épuration ou le recyclage des composants.
这
程的辅助
统包括磁体供电
统、离子源高压供电
统、真空
统以及产品回收及部件的清洁/再循环用多种化学处理
统。


量估算中所使用的其他有关的信息; 通用报告格式表2(II).F中应填报的是,在采用“自下而上办法”(基于设备总量



