Les systèmes auxiliaires utilisés dans le procédé comprennent l'alimentation de l'aimant, l'alimentation haute tension de la source d'ions, l'installation de vide et d'importants systèmes de manipulation chimique pour la récupération du produit et l'épuration ou le recyclage des composants.
这个过助
统包括磁体供电
统、离子源高压供电
统、真空
统以及产品
及部件
清洁/再循环用多种化学处理
统。