Les systèmes auxiliaires utilisés dans le procédé comprennent l'alimentation de l'aimant, l'alimentation haute tension de la source d'ions, l'installation de vide et d'importants systèmes de manipulation chimique pour la récupération du produit et l'épuration ou le recyclage des composants.
这个过程辅助
包括磁体供
、离子源高压供
、真空
以及产品回收及部件
清洁/再循环
多种化学处理
。